特種氣體站房特種氣體在半導體行業應用比較多,一些用氣量大的工廠需要建立特種氣體站房,特種氣體在分類和設計上需要注意很多問題。特種氣體設計要求:特種氣體應根據其物理化學性能及安全特性進行分類和工程設計。
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